Nanotech Semprep 2, coatingmaskine
Består af et gennemsigtigt cylinderformet vacuumkammer med sputterudstyr under aluminiumslåget. Ekstern pumpe erstatter den defekte i apparatkassen. Kammeret ventileres, "skylles", med argon fra en trykflaske. Når sprøjtningen står på, lyser området omkring prøven op i et violet skær.
Coatning af kulstofnanorør, klargøring
Nanorørere (sort pulver) røres op i kloroform. 1 skeende i 80 mL. Omrøres med ultralydsomrører i 10 min i lokalet ved siden af kemilaboratoriet. Med pipette udtages en dråbe, som lægges på f.eks. n-type silicium. Når opløsningsmidlet er fordampet ses en mørk plamage, hvor nanorørene ligger. Der coates med platin som forklaret nedenfor. Ved eftersøgning af nanorør med AFM ledes lidt UDEN FOR plamagen, hvor koncentrationen af rør er tilstrækkelig lille til at man kan være heldig at se enkeltrør.
Coatning af harddisk med platin, klargøring
Harddiskstykkerne må ikke være mere end ca 1 cm brede og 2-3 cm lange. Stykkerne fæstnes med dobbeltklæbende tape på den tykke ringformede holder og placeres i kammeret. Låget lægges på. Der pumpes til under 1000 mtorr (sort ventilhane på rør til ekstern pumpe). Herefter ventileres (kort tryk på VENT-knap) et par gange med argongas til man efter sidste ventilation når under 50 mtorr. Spøjtningen vil ikke starte, hvis ikke trykket er lavt nok. Måske er 55 mtorr lavt nok, men det kan vi ikke huske præcist.
Selve kappelægningen
Accelerationsspænding 900 V, 5 min. AUTO-knap aktiveres og flowet indstilles så trykket holdes på 100-200 mtorr. (Drejeknap venstre side af kassen for neden, forsøgsvis omkring cirka 25).
Spar tid ved masseproduktion
Ved gentagne anvendelser er det tidsbesparende at lægge aluminiumslåget på kammeret mens de besprøjtede harddiskstykker fjernes og nye påmonteres. Derved kommer der nemlig færre urenheder i kammeret og ventilationsproceduren går hurtigere gentagelsen.
Efter brug
Lad aluminiumslåget sidde på, gerne under vacuum. Det mindsker behovet for ventilation næste gang. Luk for ventilen til pumpen. Den må ikke stå med vacuum uden at køre, da man så suger olie op i pumpen. Luk for ventilerne til trykflasken.